真空化学气相沉积炉

产品概述：

化学气相沉积炉由沉积室、供气系统和排气系统组成，是以电阻加热或者感应加热的方式，在真空环境下，通入沉积气体，并在高温下产生裂解后沉积到工件上，使复合材料得到致密化处理的生产设备。

应用领域：碳碳制品、热解石墨、耐热物质涂层、粉末合成

功能特点：操作简单、维护方便、可制备多种类型涂层及复合材料、产品致密均匀，纯度和晶粒度高

性能参数：